全球領先的移動機器人解決方案提供商優艾智合(YOUIBOT)近日宣布，其針對半導體行業推出的潔凈室自動化物流解決方案已在全球范圍內實現規模化部署，服務客戶超過300家，其中包括臺積電、中芯國際、華天科技等全球半導體龍頭企業。這一解決方案覆蓋了從襯底制備、外延生長、晶圓制造到封裝測試的全產業鏈環節，成為半導體智能制造領域的重要推動力。

半導體制造是當今科技產業的核心，其生產過程對潔凈度、精度和穩定性要求極高。傳統的物料搬運方式依賴人工操作，不僅效率低下，還容易引入污染和誤差。優艾智合通過自主研發的高精度SLAM導航技術和復合機器人系統，成功解決了半導體制造中的物流自動化難題。其AMR(自主移動機器人)產品能夠在Class 1超凈環境中穩定運行，振動值嚴格控制在0.1g以下，滿足晶圓級微震動抑制要求，同時通過CE和SEMI S2國際認證，操作精度可達±1mm。

優艾智合的解決方案不僅具備卓越的硬件性能，還搭載了自主研發的Fleet調度系統。該系統支持多機型、多場景的協同作業，可同時調度1000臺以上機器人，實現高效路徑規劃和動態任務分配。此外，系統還支持可視化編程和地圖編輯功能，能夠根據生產需求快速調整物流路線，支持地圖擴建、補建和局部重建，極大提升了生產線的靈活性和可擴展性。

在實際應用中，優艾智合的AMR系統已成功部署于多家全球知名半導體企業的生產線。例如，在某國際頭部晶圓廠的8寸晶圓車間，優艾智合通過50+臺OW8晶圓盒搬運機器人，實現了SMIF POD在光刻機、蝕刻機、CMP等設備間的自主流轉，替代了傳統的人工搬運方式。該項目不僅大幅降低了人力成本，有效提升物料處理效率，為工廠的7×24小時連續生產提供了可靠保障。

優艾智合創始人表示：“半導體行業正面臨著智能化升級的關鍵機遇，我們的目標是通過創新的機器人技術和智能物流解決方案，幫助客戶實現穩定、柔性、高效的生產運營。未來，我們將繼續深耕半導體領域，推動全球半導體制造的智能化轉型。”

(關鍵字：半導體)